研究熱壓在聚合物微流道的複製準確性 Study on the replication accuracy of polymer hot embossed microchannels 出處:International Communications in Heat and Mass Transfer 42 (2013) 55–61 作者:Ming-Chung Lin , Jung-Peng Yeh , Shia-Chung Chen , Rean-Der Chien , Cheng-Li Hsu 摘要:微機電系統(MEMS)技術是為低成本取代矽或玻璃的技術 在研究中使用熱壓應用在微模仁上,直徑127mm厚度0.22mm,寬度50μm深度30μm基材PMMA厚度1mm 針對微特徵複製精度和成型條件的影響進行探討結果發現曾加溫度、壓力及時間都有顯著影響精度 找到最好參數為135℃、18kN和6min