中國砂輪企業股份有限公司 研發部 副理
講者:林俊德 副理
講座題目:高分子材料在精密研磨工具領域的應用
記錄者:劉佳俊
記錄者指導教授:林明俊、孔光源 教授
講座主持人:李季燃 老師
第7週:102/4/9(週二)15:10~17:00
心得:超精密加工是指加工誤差小於0.01μm、表面粗糙度小於Ra0.02μm 的加工,又稱之為亞微米級加工。現在,超精密加工已進入納米級,稱之為納米加工。用於製造高精度高表面品質的零件,如大型積體電路的矽片,不僅要求極高的平面度,極小的表面粗糙度,而且要求表面無變質層、無劃傷。光學平晶、量塊、石英振子基片平面,除要求極高平面度、極小表面粗糙度外,還要求兩端面嚴格平行。
研磨加工是應用較廣的一種光整加工。加工後精度可達IT5級,表面粗糙度可達Ra0.1~0.006μm。既可加工金屬材料,也可加工非金屬材料。
研磨加工時,在研具和工件表面間存在分散的細粒度砂粒(磨料和研磨劑)在兩者之間施加一定的壓力,並使其產生復雜的相對運動,這樣經過砂粒的磨削和研磨劑的化學、物理作用,在工件表面上去掉極薄的一層,獲得很高的精度和較小的表面粗糙度。
研磨的方法按研磨劑的使用條件分以下三類:
1.乾研磨研磨時只需在研具表面塗以少量的潤滑附加劑。如圖8-12a所示。砂粒在研磨過程中基本固定在研具上,它的磨削作用以滑動磨削為主。這種方法生產率不高,但可達到很高的加工精度和較小的表面粗糙度值(Ra0.02~0.01μm)。
2.濕研磨在研磨過程中將研磨劑塗在研具上,用分散的砂粒進行研磨。研磨劑中除砂粒外還有煤油、機油、油酸、硬脂酸等物質。在研磨過程中,部分砂粒存在於研具與工件之間,如圖8-12b所示。此時砂粒以滾動磨削為主,生產率高,表面粗糙度Ra0.04~0.02μm,一般作粗加工用,但加工表面一般無光澤。
3.軟磨粒研磨
在研磨過程中,用氧化鉻作磨料的研磨劑塗在研具的工作表面,由於磨料比研具和工件軟,因此研磨過程中磨料懸浮於工件與研具之間,主要利用研磨劑與工件表面的化學作用,產生很軟的一層氧化膜,凸點處的薄膜很容易被磨料磨去。此種方法能得到極細的表面粗糙度(Ra0.02~0.01μm)。
研磨加工是應用較廣的一種光整加工。加工後精度可達IT5級,表面粗糙度可達Ra0.1~0.006μm。既可加工金屬材料,也可加工非金屬材料。
研磨加工時,在研具和工件表面間存在分散的細粒度砂粒(磨料和研磨劑)在兩者之間施加一定的壓力,並使其產生復雜的相對運動,這樣經過砂粒的磨削和研磨劑的化學、物理作用,在工件表面上去掉極薄的一層,獲得很高的精度和較小的表面粗糙度。
研磨的方法按研磨劑的使用條件分以下三類:
1.乾研磨研磨時只需在研具表面塗以少量的潤滑附加劑。如圖8-12a所示。砂粒在研磨過程中基本固定在研具上,它的磨削作用以滑動磨削為主。這種方法生產率不高,但可達到很高的加工精度和較小的表面粗糙度值(Ra0.02~0.01μm)。
2.濕研磨在研磨過程中將研磨劑塗在研具上,用分散的砂粒進行研磨。研磨劑中除砂粒外還有煤油、機油、油酸、硬脂酸等物質。在研磨過程中,部分砂粒存在於研具與工件之間,如圖8-12b所示。此時砂粒以滾動磨削為主,生產率高,表面粗糙度Ra0.04~0.02μm,一般作粗加工用,但加工表面一般無光澤。
3.軟磨粒研磨
在研磨過程中,用氧化鉻作磨料的研磨劑塗在研具的工作表面,由於磨料比研具和工件軟,因此研磨過程中磨料懸浮於工件與研具之間,主要利用研磨劑與工件表面的化學作用,產生很軟的一層氧化膜,凸點處的薄膜很容易被磨料磨去。此種方法能得到極細的表面粗糙度(Ra0.02~0.01μm)。
取材至碧威股份有限公司、精密研磨加工的幾種方法